為進(jìn)步加工精度和減少研磨輪磨損,對(duì)平面研磨拋光加工過程中的加工參數(shù)進(jìn)行分析。針對(duì)目前常用的兩種不同結(jié)構(gòu)砂輪,采用加工精度系數(shù)和砂輪磨損系數(shù)的概念描述加工精度與砂輪磨損,并提出相應(yīng)的數(shù)學(xué)模型,以分析加工參數(shù)與工件精度及研磨輪磨損的關(guān)系。通過理論分析與實(shí)踐表明：優(yōu)化設(shè)計(jì)砂輪的結(jié)構(gòu)、公道選擇加工參數(shù),可以實(shí)現(xiàn)進(jìn)步研磨加工精度及降低砂輪磨損的目的。

　　平面研磨拋光加工技術(shù)已被廣泛應(yīng)用于超精密加工中,它可加工出粗拙度Ra為0.01-0.02μm的鏡面。諸如量塊、光學(xué)平面、集成電路的硅基片等硬脆零件,后都是用超精密研磨拋光機(jī)得到要求的高質(zhì)量表面。其樞紐是如何進(jìn)步效率、加工精度,降低本錢。

　　為改善冷卻液工作狀態(tài),減小加工動(dòng)壓的影響,現(xiàn)在研磨輪多數(shù)采用了開槽式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。但是,對(duì)于研磨輪表面結(jié)構(gòu)和研磨加工精度、粗拙度之間關(guān)系的研究還沒有一個(gè)定性的研究結(jié)論。

　　對(duì)于平面研磨拋光加工的主要工藝因素在一定的范圍內(nèi)，增加研磨壓力可以提高研磨效率。此外，超精密研磨對(duì)研磨運(yùn)動(dòng)軌跡有以下基本要求，保征工件加工表面和研具表面上各點(diǎn)均有相同或相近的被切削條件和切削條件：

　　1.工件相對(duì)研磨盤作平面平行運(yùn)動(dòng)，使工件上各點(diǎn)具有相同或相近的研磨行程。

　　2.工件上任一點(diǎn)不出現(xiàn)運(yùn)動(dòng)軌跡的周期性重復(fù)。

　　3.避免曲率過大的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)角，保證研磨運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。

　　4.保證工件走遍整個(gè)研磨盤表面，以使研磨盤磨損均勻，進(jìn)而保證工件表面的平面度。

　　5.及時(shí)變換工件的運(yùn)動(dòng)方向，以減小表面粗糙度值并保證表面均勻一致。